润鹏半导体（深圳）有限公司润鹏12吋低压化学沉积TEOS炉管设备项目招标公告[重新招标]

润鹏半导体（深圳）有限公司启动12吋低压化学沉积TEOS炉管设备项目重新招标，原招标因故终止。项目位于深圳市宝安区燕罗街道，采购内容为1台12吋低压化学沉积TEOS炉管设备，交货期为2025年7月。本次招标为公开招标，投标人需在2024年10月24日前获取招标文件，并于2024年11月8日16:00前提交投标文件。投标人须具备2019年以来在中国大陆12吋集成电路晶圆制造企业完成5台及以上同类设备销售并安装的业绩，且提供近三年完整审计报告及无重大违法记录承诺。招标人已明确不接受联合体及代理商投标，项目资金来源为自筹。该设备用于半导体晶圆制造关键工艺环节，属于高端集成电路装备领域。