130nm节点

无锡迪思微电子股份有限公司开展掩模版清洗设备采购（重新招标）项目，项目编号0T10000120260326HW0008，于2026年3月27日发布招标公告，采用公开招标方式。项目采购内容为1台掩模版清洗设备，交货期为合同签订后365天内。2026年4月17日截标，经评标后于5月14日公示第一中标候选人常州瑞择微电子科技有限公司，最终于5月19日确定其为中标人，中标金额247.445万元。招标人要求投标人具备130nm及以上节点掩模版清洗设备销售业绩不少于1台的条件，且不得为代理商或联合体。项目实施地为江苏省无锡市新锦路27号。