GAN专项设备

无锡华润上华科技有限公司6B新增GAN专项设备及干法设备特气特侦项目为半导体制造领域关键配套工程，旨在升级晶圆生产线的特气供应与侦测系统。项目通过公开招标方式推进，涵盖1台BCL3气体GC、2台4% H2/N2气体VMB、1台NF3气体VMB等设备安装调试，新增34路特气配管并部署多类气体侦测器。项目于2026年4月15日发布招标公告，投标截止时间为2026年4月30日9:30。候选人公示于5月19日发布，中标结果于5月27日公告，无锡恒大电子科技有限公司中标，上海正帆科技股份有限公司为第一备选。项目实施地点位于江苏省无锡市，属于半导体制造行业，技术要求严格，需具备压力管道GC2及以上资质及相应业绩。