PECVD设备

无锡华润上华科技有限公司启动C1 PECVD设备采购项目，旨在为半导体制造产线升级提供关键设备支持。项目通过公开招标方式完成评标，于2026年5月7日确定中标结果，中标人为无锡市渃玫克斯电子科技有限公司，第一备选中标人为杭州帕兹电子有限公司。本项目属于货物类采购，聚焦先进薄膜沉积设备，服务于集成电路制造领域，体现了国内半导体产业链自主化趋势。项目实施地在江苏省无锡市，具备明确的设备采购与交付目标，标志着该产线技术升级进入实质性推进阶段。

无锡华润上华科技有限公司启动PECVD设备打印头项目升级改造招标，项目编号DZCGXY202604200008，属技术类设备改造工程。采购内容为PECVD设备打印头的升级改造，不采用费率寻源。资格预审申请文件提交截止时间为2026年4月25日08:00（北京时间），需通过华润守正采购交易平台线上提交。采购人要求申请人根据附件中的具体资格要求提供证明材料，并对资料真实性负责。本项目通过线上平台进行全流程操作，供应商须注册平台并完成响应文件递交。服务费收取标准为成交金额≥50万元时按0.15%收取，单项目封顶10万元。项目实施地点位于江苏省无锡市，属于半导体制造领域，技术复杂度高，对供应商资质有明确要求。

无锡华润上华科技有限公司启动C1 PECVD设备采购项目变更，原招标公告编号ZBGG202603270002Z于2026年3月27日发布，本次变更公告（编号BGGG202604070002Z）于2026年4月8日发布。变更内容仅涉及报价单格式调整，其余条款保持不变。项目为货物类采购，聚焦于PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备，属于半导体制造关键装备。目前处于招标阶段，未披露投标截止时间、预算金额及中标结果。项目实施地为江苏省无锡市，由招标人直接发起，未提及代理机构信息。整体流程仍在推进中，后续需关注报价文件提交及评标进展。

无锡华润上华科技有限公司启动C1 PECVD设备采购项目，旨在为6B工厂升级半导体制造设备。项目采用公开招标方式，招标编号T99000120260320HW0004Z，于2026年3月27日发布招标公告，投标截止时间为2026年4月15日。评标工作已完成，第一中标候选人无锡市渃玫克斯电子科技有限公司、第二中标候选人杭州帕兹电子有限公司进入公示阶段，公示期至2026年5月6日。投标人须具备2022年1月1日后在晶圆制造工厂完成至少1台6吋NVSL C1 PECVD设备整机销售或翻新装机的业绩，且无失信记录及重大违法记录。项目位于无锡市梁溪路14号，交货期为合同签订后60日历天。

无锡华润上华科技有限公司启动8A TF PECVD设备TEOS源柜气体改造项目，旨在提升半导体制造设备的气体供应安全性与稳定性。该项目采用竞争性谈判方式采购，寻源单编号为DZCGXY202507010018，于2025年7月30日完成评审。经评审，传晶电子（上海）有限公司中标，成为该项目唯一成交供应商。项目实施地点位于江苏省无锡市，属于半导体制造领域的设备升级改造工程。中标结果于2025年7月31日对外公告，标志着项目进入合同签订与交付阶段。整体流程规范，信息透明，体现了先进制造业在关键设备维护与升级方面的专业化采购机制。

润鹏半导体（深圳）有限公司就其等离子氧化沉积设备采购项目启动重新招标，项目位于深圳市宝安区，拟采购1台TEOS base PECVD设备，交货期为2025年10月30日。原招标于2025年7月1日截标，因故终止后重新发布。本次招标要求投标人具备2020年至今在12吋集成电路晶圆制造企业完成2台及以上同类设备的合同业绩，并提供审计报告或财务报表及承诺函。投标截止时间为2025年8月5日09:30，采用电子招标方式，由华润集团守正电子招标平台进行全流程管理。项目资金来源为自筹，不接受联合体及代理商投标。

润鹏半导体（深圳）有限公司就氮化硅等离子体沉积设备进行重新招标，项目位于深圳市宝安区，采购1台设备，交货期为2025年11月1日。原招标于2025年6月11日启动，投标截止时间为2025年7月8日，因故未完成开标流程，现启动重新招标。本次招标采用公开招标方式，不接受联合体或代理商投标，投标人须具备2020年以来在12吋集成电路晶圆制造企业中至少2台SiH4 base PECVD设备的合同业绩，并提供审计报告及财务报表。招标文件获取时间为2025年7月11日至7月18日，投标截止时间为2025年8月1日10时30分，开标地点为网上开标大厅。项目资金来源为自筹，无预算金额披露，中标结果尚未公布。