RFQ工艺规范

无锡华润上华科技有限公司拟对8英寸减压硅外延设备进行重新招标，项目位于江苏省无锡市新吴区，资金来源为自筹。本次招标采用资格预审方式，要求投标人具备2021年1月1日以来在硅基晶圆制造工厂销售至少1台8英寸减压硅外延机的业绩，且不得为联合体或代理商投标。资格预审文件获取时间为2026年5月13日至18日，申请文件递交截止时间为2026年5月25日9时30分。项目交货期不超过150日历天，关键工艺需提供测试原始数据或SEM图证明。招标人为主导方，华润守正招标有限公司为代理机构。