半导体设备采购

无锡华润上华科技有限公司8A高质量MEMS项目新增化学机械抛光设备项目（重新招标）因招标人通知终止招标。该项目原计划通过公开招标采购高端MEMS制造用化学机械抛光设备，于2026年3月9日发布招标公告（编号ZBGG202603090003），但仅在发布后约三周即宣布终止。项目位于江苏省无锡市，属于半导体制造设备采购范畴，技术要求较高，涉及先进微电子工艺设备。由于未完成评标流程，无中标结果，亦无预算或中标金额信息。本次终止为招标人主动决策，具体原因未披露。项目已进入废标状态，后续是否重启尚不确定。

华润微电子(重庆)有限公司开展薄膜厚度应力测试设备购买（重新招标）项目，采用公开招标方式，旨在采购用于晶圆生产线的高精度薄膜厚度与应力测试设备。项目招标编号为T11000720260114HW0003Z，于2026年1月19日发布招标公告，投标截止时间为2026年2月4日。中标结果于2026年3月31日公示，深圳中科飞测科技股份有限公司中标，成为第一中标人，普雷赛斯（苏州）智能科技有限公司和上海精测半导体技术有限公司分别为第一、第二备选中标人。项目要求投标人须在2022年1月1日至投标截止日，在8寸及以上晶圆产线完成至少1台同技术规范的膜厚应力测试设备销售或安装，并提供正式合同或订单佐证。同时，投标人需提供2023或2024年度经审计的财务报告，且无失信记录及重大违法记录。